微尺度工艺工程实验室占地5000平方英尺。该设施支持微制造、工艺工程和设备测试方面的实践指导和学术研究。该实验室主持各种各样的课程、项目和跨几个工程学科的特殊项目。
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由于创始合作伙伴应用材料公司、英特尔公司和国家科学基金会以及硅谷的几个合作伙伴的慷慨支持,这个设施成为可能。