设施

设备

看看MPEL目前的设备库存，包括掩模对准器、等离子蚀刻器、气相沉积系统、探针站、反射计等等。

流程

查看MPEL在实验室中使用的常见工艺列表，如光刻，等离子体蚀刻，气相沉积和热加工。请注意，这个列表不是详尽的，实验室可能有能力做各种其他的过程。

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