仪器

扫描电子显微镜

FEI量子200扫描电子显微镜具有热离子发射电子源，高真空和低真空两种工作模式，以及能量色散x射线分析。它是由Denton Desk IV气相沉积系统用于样品涂层的补充。

原子力显微镜

安捷伦5500 AFM能够在以下模式下工作：接触模式、声学模式、相位成像、扫描隧道显微镜（STM）、侧向力显微镜（LFM）、电磁力显微镜（EFM）、磁力显微镜（MFM）、电流传感AFM （CSAFM）和扫描开尔文探针显微镜（SKPM）等。它具有高达250ºC的成像样品的能力，具有惰性气体或反应气体的气体环境控制。该扫描仪的最大垂直分辨率为0.5 Å，最大垂直范围为7.5µm。给定扫描的最大横向范围为100 μ m，可安装的最大样本量为20 x 20 mm。

x射线衍射

Rigaku Ultima III x射线衍射仪执行x射线衍射（XRD），这是一种非破坏性分析材料的形式，通常是粉末或薄膜形式。XRD在材料表征中有着广泛的应用，如晶体结构和取向的测定、物相鉴定、材料中痕量化合物的检测等。

3-D光学轮廓术

Veeco Wyko NT9100光学剖面仪使用垂直扫描干涉（VSI）模式对各种拓扑结构进行非接触式3d表面测量，并使用相移干涉（PSI）模式对更细微的剖面变化进行测量。NT9100具有亚纳米级垂直分辨率，并通过10毫米范围进行闭环垂直定位。九州体育系统配置了一个150毫米范围的自动X-Y级。放大倍率和横向分辨率取决于物镜和视场（FOV）镜头的可用组合，九州体育配置如下表所示。更大的领域可以成像与自动拼接功能包括在控制软件。